Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 学科主题 | 半导体化学 |
| 电子级气体N2、H2、O2、Ar、He、HCl、CO2、NH3 28种杂质分析技术及质量监控 | |
| 闻瑞梅; 李希云; 王铁龄; 王桂英 | |
| 获奖类别 | 国家科技进步奖 |
| 获奖等级 | 三等奖 |
| 1991 | |
| 关键词 | 电子级气体 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 成果 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11002 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闻瑞梅,李希云,王铁龄,等. 电子级气体N2、H2、O2、Ar、He、HCl、CO2、NH3 28种杂质分析技术及质量监控. 1991. |
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