Heteroepitaxy of cubic GaN: influence of interface structure
Trampert A; Brandt O; Yang H; Yang B; Ploog KH; Trampert A Paul Drude Inst Festkorperelekt Hausvogteipl 5-7 D-10117 Berlin Germany.
1997
会议名称Royal-Microscopical-Society Conference on Microscopy of Semiconducting Materials
会议录名称MICROSCOPY OF SEMICONDUCTING MATERIALS 1997, (157)
页码205-208
会议日期APR 07-10, 1997
会议地点OXFORD, ENGLAND
出版地TECHNO HOUSE, REDCLIFFE WAY, BRISTOL, ENGLAND BS1 6NX
出版者IOP PUBLISHING LTD
ISSN0951-3248
ISBN0-7503-0464-2
部门归属paul drude inst festkorperelekt, d-10117 berlin, germany; chinese acad sci, inst semicond, beijing 100083, peoples r china
摘要We report on the epitaxial growth and the microstructure of cubic GaN. The layers are deposited by plasma-assisted molecular beam epitaxy on GaAs and Si substrates. Despite the extreme lattice mismatch between these materials, GaN grows in the metastable cubic phase with a well-defined orientation-relationship to the GaAs substrate including a sharp heteroboundary. The preference of the metastable phase and its epitaxial orientation originates in the interface structure which is found to be governed by a coincidence site lattice.
关键词Molecular-beam Epitaxy Gan/gaas(001) Growth
学科领域半导体物理
主办者Royal Microscop Soc.; Inst Phys, Electron Microscopy & Anal Grp.; Mat Res Soc.; Royal Soc.; JEOL UK Ltd.; Oxford Instruments Ltd.
收录类别CPCI-S
语种英语
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/15099
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
通讯作者Trampert A Paul Drude Inst Festkorperelekt Hausvogteipl 5-7 D-10117 Berlin Germany.
推荐引用方式
GB/T 7714
Trampert A,Brandt O,Yang H,et al. Heteroepitaxy of cubic GaN: influence of interface structure[C]. TECHNO HOUSE, REDCLIFFE WAY, BRISTOL, ENGLAND BS1 6NX:IOP PUBLISHING LTD,1997:205-208.
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