| 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法; 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法 | |
| 郑婉华; 马传龙; 范学东; 渠红伟; 彭红玲; 王海玲; 马绍栋 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2012-09-09 ; 2012-09-09 ; 2012-09-09 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 本发明涉及晶体材料处理技术领域,公开了一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法,包括：在铁电晶体材料上施加高脉冲电压,将该铁电晶体材料极化为周期性反转铁电晶体；以及对该周期性反转铁电晶体进行切割、抛光和对准键合,完成大厚度周期极化铁电晶体材料的制备。利用本发明可制备出大厚度的周期极化铁电晶体材料。 |
| 部门归属 | 纳米光电子实验室 |
| 专利号 | CN102321920A |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN201110241438.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/23448 |
| 专题 | 纳米光电子实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑婉华,马传龙,范学东,等. 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法, 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法. CN102321920A. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 一种制备大厚度周期极化铁电晶体材料的方法（574KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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