| 微机电系统（MEMS）器件低温封装方法研究 | |
| 方志强 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 杨晋玲 ; 毛旭 |
| 2013 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科领域 | 微电子学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-06-24 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24244 |
| 专题 | 半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 方志强. 微机电系统（MEMS）器件低温封装方法研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2013. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 方志强-硕士.pdf（2011KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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