Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔热屏 | |
承刚; 李京波; 李永涛; 董珊 | |
专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
公开日期 | 2012-09-26 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
学科领域 | 半导体物理 |
申请日期 | 2012-06-14 |
申请号 | CN201210196897.0 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25407 |
专题 | 半导体超晶格国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 承刚,李京波,李永涛,等. 一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔热屏. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
一种用于泡生法蓝宝石晶体炉的多层结构内隔(308KB) | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 |
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