SEMI OpenIR  > 半导体集成技术工程研究中心
硅基III-V族纳米线选区横向外延生长的方法
韩伟华; 杨晓光; 杨涛; 王昊; 洪文婷; 杨富华
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2013-10-09
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体器件
申请日期2013-06-13
申请号CN201310232595.9
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25539
专题半导体集成技术工程研究中心
推荐引用方式
GB/T 7714
韩伟华,杨晓光,杨涛,等. 硅基III-V族纳米线选区横向外延生长的方法.
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硅基III-V族纳米线选区横向外延生长的(1132KB) 限制开放使用许可请求全文
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