| 蓝宝石图形衬底的制备方法 | |
| 段瑞飞; 季安; 伊晓燕; 王莉; 樊中朝; 郭金霞; 潘岭峰; 黄亚军; 赵冀; 李镇 | |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 公开日期 | 2013-07-24 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 学科领域 | 半导体器件 |
| 申请日期 | 2013-04-22 |
| 申请号 | CN201310141878.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25644 |
| 专题 | 中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段瑞飞,季安,伊晓燕,等. 蓝宝石图形衬底的制备方法. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 蓝宝石图形衬底的制备方法.pdf（1025KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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