硫族元素超饱和掺杂硅红外探测器及其制作方法
王科范; 彭成晓; 刘孔; 谷城; 曲胜春; 王占国
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2014-04-30
授权国家中国
专利类型发明
学科领域半导体材料
申请日期2014-01-24
申请号CN201410035355.4
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25842
专题中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
王科范,彭成晓,刘孔,等. 硫族元素超饱和掺杂硅红外探测器及其制作方法.
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硫族元素超饱和掺杂硅红外探测器及其制作方(564KB) 限制开放使用许可请求全文
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