键合强度可调节的柔性衬底
张志成; 杨少延; 黎大兵; 陈涌海; 王占国
2003-10-29
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2002-04-16
语种中文
申请号CN02105735.4
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3013
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张志成,杨少延,黎大兵,等. 键合强度可调节的柔性衬底[P]. 2003-10-29.
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