Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 湿法腐蚀两步法制备超薄柔性硅衬底的腐蚀工艺 | |
| 王晓峰; 曾一平; 孙国胜; 黄风义; 王雷; 赵万顺 | |
| 2005-11-16 | |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
| 专利类型 | 发明 |
| 申请日期 | 2004-05-10 |
| 语种 | 中文 |
| 申请号 | CN200410037736.2 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3113 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓峰,曾一平,孙国胜,等. 湿法腐蚀两步法制备超薄柔性硅衬底的腐蚀工艺[P]. 2005-11-16. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 200410037736.pdf（537KB） | 限制开放 | -- | 请求全文 | |||
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