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能引出低熔点金属离子的冷阴极潘宁离子源 | |
徐嘉东; 李建明; 杨占坤 | |
2006-06-14 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2004-12-09 |
语种 | 中文 |
申请号 | 200410009989 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3479 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐嘉东,李建明,杨占坤. 能引出低熔点金属离子的冷阴极潘宁离子源[P]. 2006-06-14. |
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