能引出低熔点金属离子的冷阴极潘宁离子源
徐嘉东; 李建明; 杨占坤
2006-06-14
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2004-12-09
语种中文
申请号200410009989
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3479
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
徐嘉东,李建明,杨占坤. 能引出低熔点金属离子的冷阴极潘宁离子源[P]. 2006-06-14.
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