Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
InP单晶锭退火处理方法 | |
赵友文; 段满龙 | |
2007-03-28 | |
公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2005-09-22 |
语种 | 中文 |
申请号 | 200510086482 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/3581 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵友文,段满龙. InP单晶锭退火处理方法[P]. 2007-03-28. |
条目包含的文件 | ||||||
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