锗/硅混合集成的波导型光电转换器及其制造方法
韩培德
2009-03-25
公开日期2009-06-04 ; 2009-06-11
专利类型发明
申请日期2007-09-19
语种中文
申请号CN200710121972.6
文献类型专利
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4323
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
韩培德. 锗/硅混合集成的波导型光电转换器及其制造方法[P]. 2009-03-25.
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