半导体材料微区深能级的束感生电流谱测量技术
董振萍
学位类型硕士
导师佘觉觉 ; 李成基
1990
学位授予单位中国科学院半导体研究所
学位授予地点北京
学科领域半导体器件与材料的理化分析
语种中文
公开日期2009-04-13
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4705
专题中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
董振萍. 半导体材料微区深能级的束感生电流谱测量技术[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,1990.
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