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多型体材料SiC和GaN外延薄膜的相及缺陷分析 | |
郑新和 | |
学位类型 | 博士 |
导师 | 梁骏吾 ; 杨辉 |
2002 | |
学位授予单位 | 中国科学院半导体研究所 |
学位授予地点 | 北京 |
学科领域 | 材料物理与化学 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2009-04-13 ; 2009-07-09 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5111 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑新和. 多型体材料SiC和GaN外延薄膜的相及缺陷分析[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,2002. |
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