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注氧隔离SOI材料及部分耗尽SOI MOSFETs的电离辐射加固 | |
郑中山 | |
学位类型 | 博士 |
导师 | 刘忠立 |
2005 | |
学位授予单位 | 中国科学院半导体研究所 |
学位授予地点 | 北京 |
学科领域 | 微电子学与固体电子学 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2009-04-13 ; 2009-07-09 |
文献类型 | 学位论文 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5507 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑中山. 注氧隔离SOI材料及部分耗尽SOI MOSFETs的电离辐射加固[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所,2005. |
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