Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
使用硅阵列孔装配微丝电极阵列的方法 | |
陈弘达; 朱 琳; 裴为华; 张 旭 | |
2009-09-30 | |
专利权人 | 中科院半导体研究所 |
公开日期 | 4008 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
申请日期 | 2008-03-26 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN200810102801 |
专利代理人 | 汤宝平 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9056 |
专题 | 中国科学院半导体研究所(2009年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈弘达,朱 琳,裴为华,等. 使用硅阵列孔装配微丝电极阵列的方法[P]. 2009-09-30. |
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