Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
| 一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 | |
李文兵; 韩 勤; 秦 龙; 杨晓红 ; 倪海乔; 杜 云; 朱 彬; 鞠研玲
| |
| 2009-06-17 | |
| 专利权人 | 中科院半导体研究所 |
| 公开日期 | 3998 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 申请日期 | 2007-12-12 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN200710179381 |
| 专利代理人 | 汤宝平 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/9132 |
| 专题 | 中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文兵,韩 勤,秦 龙,等. 一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法[P]. 2009-06-17. |
| 条目包含的文件 | ||||||
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