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中国科学院半导体研究所机构知识库
Knowledge Management System Of Institute of Semiconductors,CAS
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期刊论文
作者:
Zhang, Jinying
;
Li, Defang
;
Li, Zhuo
;
Wang, Xin
;
Yang, Suhui
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提交时间:2022/03/23
一种扫描探针及其制作方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-28
发明人:
杨晋玲
;
何欢
;
张金英
;
杨富华
Adobe PDF(623Kb)
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浏览/下载:585/1
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提交时间:2016/09/28
一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:
杨晋玲
;
吕兴东
;
魏伟伟
;
张金英
;
杨富华
Adobe PDF(425Kb)
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浏览/下载:594/3
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提交时间:2016/09/22
一种基于微机电技术的M×N光交换阵列
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:
张金英
;
吕兴东
;
杨晋玲
;
杨富华
Adobe PDF(402Kb)
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浏览/下载:602/2
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提交时间:2016/09/22
集成超声换能器的AFM探针阵列
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
发明人:
何欢
;
张金英
;
杨晋玲
;
杨富华
Adobe PDF(356Kb)
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浏览/下载:546/2
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提交时间:2016/09/22