| Si(100)衬底外延氮化物及其3D发光器件 | |
| 王克超 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 袁国栋 |
| 2016 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 关键词 | 硅 氮化镓 外延 单芯片 白光led 湿法腐蚀 多量子阱 Mocvd 纳米线阵列 半极性面 |
| 学科领域 | 半导体物理 |
| 公开日期 | 2016-05-30 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27078 |
| 专题 | 中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王克超. Si(100)衬底外延氮化物及其3D发光器件[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016. |
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| 王克超-毕业论文.docx（21940KB） | 限制开放 | 使用许可 | 请求全文 | |||
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